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1、CMOS,分立器件,功率器件, GeSi和埋层等外延
2、外延片直径:76、100、125、150、200 mm
3、月生产能力10万片以上(6英寸外延片)
4、10级洁净厂房
5、外延炉:
     LPE3061
     LPE2061s
     CSD EpiPro 5000
     ASM Epsilon2000
     Rexon 2
6、硅源:
     三氯氢硅
     二氯氢硅
     硅烷
7、掺杂源:
     B2H6
     PH3
     AsH3
8、生长模式:
     常压
     减压
9、客户特定参数
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